Експериментальний еліпсометр LCP-25
Вступ
Ручний еліптичний поляриметр використовує метод екстинкції для вимірювання товщини та показника заломлення плівки та вручну регулює відхилення та кут відхилення тестового процесу. Еліпсометрія широко використовується для вимірювання діелектричної тонкої плівки на твердій підкладці. У методі вимірювання товщини плівки її можна виміряти з найтоншою та найвищою точністю.
Технічні характеристики
Опис | Технічні характеристики |
Діапазон вимірювання товщини | 1 нм ~ 300 нм |
Діапазон кута інциденту | 30º ~ 90º, помилка ≤ 0,1º |
Кут перетину поляризатора та аналізатора | 0º ~ 180º |
Дискова кутова шкала | 2º на шкалу |
Хв. Читання Верньє | 0,05º |
Висота оптичного центру | 152 мм |
Діаметр робочої стадії | Φ 50 мм |
Габаритні розміри | 730x230x290 мм |
Вага | Приблизно 20 кг |
Список частин
Опис | Кількість |
Еліпсометр | 1 |
Лазер He-Ne | 1 |
Фотоелектричний підсилювач | 1 |
Фотоелемент | 1 |
Кремнеземна плівка на кремнієвій підкладці | 1 |
Компакт-диск із програмним забезпеченням для аналізу | 1 |
Посібник з експлуатації | 1 |
Напишіть тут своє повідомлення та надішліть нам